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當(dāng)前位置：HORIBA科學(xué)儀器事業(yè)部>>橢圓偏振光譜儀>> Auto SEAuto SE一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀
一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀儀器簡(jiǎn)介
新型的全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具，工業(yè)化設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析，并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。
一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀技術(shù)參數(shù)
·光譜范圍：450-1000 nm
·多種微光斑自動(dòng)選擇
·光斑可視技術(shù)，可觀測(cè)任何樣品表面
·CCD探測(cè)器
·自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
·70度角入射
主要特點(diǎn)
·*自動(dòng)化設(shè)計(jì)，一鍵式操作，直接報(bào)告輸出
·液晶調(diào)制技術(shù)，測(cè)量光路中無(wú)運(yùn)動(dòng)部件
·CCD探測(cè)系統(tǒng)，快速全譜輸出
·多個(gè)微光斑尺寸選擇，可視技術(shù)
·封閉式樣品倉(cāng)
